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国家知识产权局信息数据显现，四川九霄真空科技有限公司请求一项名为“真空取得体系及真空的抽取办法”的专利，公开号CN121205903A，请求日期为2025年10月。
专利摘要显现，一种真空取得体系及真空的抽取办法，用于对方针真空腔室进行真空抽取；该体系包含前级真空泵组、高真空泵组；高真空泵组包含低温泵组、分子泵和低温深冷抽气设备；前级真空泵组经过榜首管道与方针真空腔室衔接；前级真空泵组经过第二管道与分子泵衔接；前级真空泵组经过第三管道与低温泵组衔接；分子泵经过第四管道与方针真空腔室衔接；低温泵组经过第五管道与方针真空腔室衔接，并安装在真空室内部。该真空取得体系经过在进入薄膜制备阶段后封闭低温泵组，仅由分子泵+低温深冷抽气设备对方针真空腔室进行真空抽取或真空度/气压的保持。推迟了低温泵组的再生时刻，来提升了真空取得体系的工作效率，满意屡次光学镀膜的工艺对真空度的要求，保持了真空取得体系的稳定性。
天眼查资料显现，四川九霄真空科技有限公司，成立于2011年，坐落南充市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本12463.3782万人民币。经过天眼查大数据分析，四川九霄真空科技有限公司共对外出资了2家企业，参加招投标项目177次，产业线条，此外企业还具有行政许可28个。
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