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证券之星音讯，依据企查查多个方面数据显现中微公司（688012）新取得一项发明专利授权，专利名为“电容式薄膜真空计、等离子体反响设备和膜层制备办法”，专利申请号为CN4.8，授权日为2024年4月5日。
专利摘要：本发明触及半导体加工技术领域，具体揭露了一种电容式薄膜真空计，包含壳体和极板，壳体具有端口，壳体内部的空腔设置一膜片，膜片包含与端口相对的榜首外表和与极板相对的第二外表，榜首外表具有细密的膜层，膜层含氟元素。本发明经过在真空计中的膜片上添加一层细密膜层，阻挠反响腔内的氟自由基浸透到膜片中，防止膜片产生功能改动，然后防止因为膜片功能改动形成的零漂，确保了真空计的丈量精度，处理了现有真空计中氟自由基浸透形成的零漂的问题。进一步地，供给了一种等离子体反响设备，这种设备压力便于操控和监控，以及膜层的制备办法，制备得到的膜层具有高细密的性质。
今年以来中微公司新取得专利授权50个，较去年同期减少了5.66%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研制方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。
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