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在真空压力丈量的范畴，规范的大气压丈量方法无法适用，为了应对这一应战，需求用特别的真空设备，统称为真空计，多种类型的真空计被大规模的运用，每一种都具有其共同的作业原理和特性。
皮拉尼真空计，又称热电真空计，中心原理是依据加热导体的电阻随真空体系中气体压力的改动而改动。这一精巧的设备首要由加热导体构成，导体资料一般选用钨、铂或镍铬合金。当导体被加热至特定温度时，其电阻会依据周围气体量的多寡而改动。在气体压力较高的情况下，分子与导体的磕碰频频，带走热量，导致电阻添加；反之，跟着气体压力的下降，磕碰频率削减，电阻也随之下降。
经过丈量导体电阻的改动，并凭借电子电路将其转换为相应的压力读数，皮拉尼真空计得以完成其功用。其丈量规模一般在大气压的10%至0.1Pa之间，精度可达读数的20-50%。这种真空计规划简练，经用牢靠，对压力改动反响敏捷。但是，它们对导体污染较为灵敏，这或许会影响丈量精度。
电离真空计，又称电离压力传感器，其作业原理是依据气体电离的特性。跟着气体压力的下降，可以产生电离的原子数量也随之削减。电离真空计的首要部件是真空二极管或三极管。在二极管中，阳极施加正电压，集电极则施加大的负电压。真空体系中的气体经过端口渗透到阳极和集电极之间的空间。
在较高的气体压力下，分子与电极的磕碰导致气体电离，构成的离子在电场中加快并抵达集电极，产生电离电流。该电流与真空体系中的气体压力成正比。电离真空计具有广泛的丈量规模，一般从10^-5Pa到0.1Pa，精度为读数的20-50%。还具有高灵敏度和快速呼应才能，而且能在较宽的温度规模内作业。
电离真空计也存在一些局限性，它们对不同气体灵敏，每种气体都需求独自校准，还或许遭到电极处气体吸收的影响，导致丈量精度下降，对磁场灵敏，在装置和操作时需采纳特别预防措施。
膜电容式真空计利用了真空体系中气体压力影响下膜电容改动的原理。首要部件是金属薄膜，一般由不锈钢或钛制成，薄膜固定在周边，可所以凸形或凹形。当气体压力作用于薄膜时，它会产生变形，导致电容改动。
经过电子电路丈量薄膜电容的改动，并将其转换为相应的压力读数，膜电容式真空计得以完成功用。丈量规模一般为1000mbar–20Pa、100mbar–2Pa、10mbar–0.2Pa，精度可达读数的2.5%。这种真空计耐腐蚀，规划紧凑，易于装置和运用，还具有高灵敏度和快速呼应才能，不需求对各种气体进行校准，能在较宽的温度规模内作业。
这些传感器对薄膜的机械损害和振荡较为灵敏，每种类型的真空计都有其共同的长处和局限性，挑选正真合适的真空计需依据详细运用的要求，包含所需的丈量精度、丈量规模和操作条件。
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